三維表面輪廓儀基于光學干涉、共聚焦顯微鏡等技術，通過白光LED光源照射被測物體表面，利用反射光信息重建物體三維模型。其核心原理是通過精密Z向掃描模塊捕捉表面微觀形貌，結合3D建模算法實現高精度成像，具有非接觸性、高速度等優點，可以用于分析物體表面的形狀、粗糙度、紋理等特征。
與傳統的測量方法相比，它具有諸多優勢。首先，非接觸式測量避免了對被測物體的損傷，尤其對于一些精密的、易損的材料和工件，能夠在不影響其性能的前提下進行準確測量。其次，高分辨率的測量能力可以捕捉到物體表面微小的細節，無論是納米級的微觀結構還是宏觀物體的復雜形貌，都能清晰呈現。再者，快速的測量速度使得它能夠在短時間內完成大量數據的采集，提高了工作效率。
本公司提供的三維表面輪廓儀的高度方向測量精度達0.05nm；系統整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術；以雙共聚焦光學系統為基礎，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測量等功能；通常多臺設備才能完成的測量，僅需一臺設備即可實現，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿足在各種測量場景中的測試需求。
