薄膜應力測試系統（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜應力計或薄膜應力儀！ 采用非接觸MOS激光技術；不但可以對樣品表面應力分布進行統計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質和厚度。