k-Space寬帶隙半導體原位溫度監測系統

k-Space寬帶隙半導體原位溫度監測系統與Veeco取得合作

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k-Space CEO Darryl Barlett：“ k-Space和Veeco在分子束外延（MBE）沉積市場上有著長期成功的合作伙伴關系。我們與Veeco緊密合作，提供了直接與Veeco的控制軟件進行通訊的現場測量工具，從而為終用戶提供了對其沉積過程的完整監控。我們很高興在此多沉積腔室VeecoGEN200®MBE系統上集成多種半導體薄膜測量設備”

1.kSA UV BandiT設計用于在高溫計無法測量的范圍內對寬帶隙半導體進行原位溫度監測，包括在紅外和可見光波長范圍內透明的基板的溫度。 kSA UV BandiT通過基于帶邊的吸收光譜在200-500 nm范圍內監控溫度。

2.kSA MOS是完整的曲率，應力，反射率和增長率原位測量儀器。 k-Space工程師創建了一個自定義配置，其中包括標準kSA MOS測量和380-1100 nm范圍內的光譜反射率監視的功能。

kSA BandiT和kSA MOS均使用kSA技術。

3.kSA 400是功能強大的分析反射高能電子衍射（RHEED）系統，具有先進的軟件。該系統捕獲靜態和實時數據，并使用軟件中強大的分析工具來分析RHEED數據。

Veeco將把kSA以上的3種工具整合到多沉積室GEN200 MBE系統中，該系統配置用于生長氮化物。 GEN200是一種高性能，高性價比的多4英寸晶圓生產MBE系統，已在先進的生產MBE設施中使用。

k-Space將于今年夏天交付該集成系統，以便終在客戶現場進行安裝。我們十分期待該系統在國內能為Veeco用戶提供強有力的幫助！